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麥克項目案例 | 麥克傳感助力半導體等離子水清潔壓力監測

時間 : 2022-09-19      作者 : 麥克傳感器股份有限公司

半導體是指在某些情況下能夠導通電流,而在某些條件下,又具有絕緣體效用的物質,在工業生產中有著非常重要的作用。在半導體元件的生產過程中,幾乎每道工序都需要用到清洗,這就衍生出等離子半導體洗滌這一產業,該系統生產廠家主要分布于日韓、中國、德國、美國。

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等離子水清洗的原理是什么?

離子清洗中的“原料”是工藝氣體,需要實現氣體壓力的穩定和大小可調,所以要在等離子清洗系統的相關氣路,或氣路的元器件,加裝特制的壓力變送器用以監測并反饋相關信號。

在等離子體半導體洗滌系統運行過程中,需要高頻電源激發工藝氣體以產生等離子體,而此過程中會有很強的電磁場,這對電子元器件的EMC性能提出了非常高的要求。

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另外,完成清洗產生的廢氣中,會伴隨著二次化學反應而產生細小的顆粒,對變送器的壓力接口結構也有特殊要求。

還有一些其他特性都會影響壓力變送器的測量和穩定信號輸出,常規傳感器在這個應用中,輸出信號會受到干擾而產生大的波動。 

麥克傳感為等離子水清洗行業提供什么設備?

麥克傳感器的定制壓力變送器產品——M20壓力變送器,通過針對應用環境的機械設計和電路設計升級,可以匹配應用場景,為客戶提供更準確、穩定的壓力測量。

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  • 量程范圍:0kPa ~ 25kPa 至 0MPa ~ 40MPa;

  • 高性能高性價比;

  • 適用于通用工業;

  • 全焊接、適配透氣膜;

  • 全數字溫度補償和校準;

  • 具備多方國際認證。

未來,麥克傳感將繼續為不同領域的客戶提供專業設備以及定制化監測解決方案。